发明名称 PREPARATION OF SILICON METAL THROUGH POLYMER DEGRADATION
摘要 <p>PREPARATION OF SILICON METAL THROUGH POLYMER DEGRADATION What is disclosed is a method of forming silicon metal from the pyrolytic degradation of polychlorosilanes.</p>
申请公布号 CA1162385(A) 申请公布日期 1984.02.21
申请号 CA19810379461 申请日期 1981.06.10
申请人 DOW CORNING CORPORATION 发明人 GAUL, JOHN H., JR.;WEYENBERG, DONALD R.
分类号 C01B33/02;C01B33/021;C01B33/027;C01B33/107;C23C16/24;C23C20/04;H01L31/04;(IPC1-7):C01B33/02 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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