| 发明名称 |
HIGH PRESSURE NON-LOCAL HEAT EQUILIBRIUM ARC PLASMA GENERATOR APPARATUS FOR PRECIPITATING COATING ON SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5929031(A) |
申请公布日期 |
1984.02.16 |
| 申请号 |
JP19830128700 |
申请日期 |
1983.07.14 |
| 申请人 |
STANDARD OIL CO |
发明人 |
BURADEIMIRU BUKANOBUITSUKU |
| 分类号 |
C23C14/32;C23C16/50;H01J37/32;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C14/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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