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发明名称 VERFAHREN ZUR VERFORMUNGSFREIEN HOCHTEMPERATURBELASTUNG VON HALBLEITERSCHEIBEN
摘要
申请公布号 DD206606(A1) 申请公布日期 1984.02.01
申请号 DD19820240372 申请日期 1982.06.02
申请人 VEB HALBLEITERWERK FRANKFURT (ODER),LEITBETRIEBSBEREICH MIKROELEKTRONIK,DD 发明人 RITTER,GEORG,DD;KOSCHACK,BAERBEL,DD
分类号 H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
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