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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR CONDUCTING HEAT TO OR FROM AN ARTICLE BEING TREATED UNDER VACUUM
摘要
申请公布号 EP0025670(B1) 申请公布日期 1984.01.25
申请号 EP19800303093 申请日期 1980.09.04
申请人 EATON CORPORATION 发明人 KING, MONROE LEE
分类号 H01J37/317;C23C14/54;C30B23/06;C30B31/22;H01J37/02;H01L21/265;(IPC1-7):30B31/22;23C15/00;01L21/265 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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