发明名称 ION IMPLANTATION TO FORM MOS DEVICES
摘要
申请公布号 GB2056167(B) 申请公布日期 1984.01.18
申请号 GB19800005578 申请日期 1980.02.19
申请人 MITEL CORP 发明人
分类号 H01L21/033;H01L21/265;H01L21/339;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/092;H01L27/105;H01L29/762;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 H01L21/033
代理机构 代理人
主权项
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