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发明名称 WERKWIJZE VOOR HET AANGROEIEN VAN EEN SILICIUM BEVATTENDE FOELIE ONDER TOEPASSING VAN PLASMA-AFZETTING.
摘要
申请公布号 NL8302261(A) 申请公布日期 1984.01.16
申请号 NL19830002261 申请日期 1983.06.24
申请人 HITACHI LTD. TE TOKIO. 发明人
分类号 C23C16/24;C01B21/068;C01B33/02;C23C16/34;C23C16/511;C30B25/10;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/00;H01J37/32;H01L21/20;H01L21/36 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
主权项
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