| 摘要 |
<p>Ein Laserstrahl (L) beaufschlagt ein Objekt (4) über eine Fokussierlinse (3). Der auf dem Objem (4) erzeugte Leuchtfleck (LF) wird mittels einer Optik (5,6) auf drei Messblenden (Ma, Mb, Mc) in Form eines je nach Fokussierungszustand mehr oder weniger breiten Streifens (Sa, Sb, Sc) abgebildet, wobei die Messblenden bezüglich des idealen Fokuspunkts gegenseitig versetzt sind. Das von den Messblenden durchgelassene Licht beaufschlagt drei Fotoempfänger (8a, 8b, 8c), und die von diesen erzeugten Messignale (la, lb, lc) werden in einer Auswertestufe (9) zu einem Korrektursignal (lk) verarbeitet, welches dann über eine Regeleinrichtung (11,12) zur automatischen Fokuseinstellung verwendet wird. Das System erfordert keine mechanisch oszillierenden Teile, ist konstruktiv einfach und auch für gepulste Lasersysteme geeignet.</p> |
