发明名称 METHOD AND DEVICE FOR SLICING SEMICONDUCTOR INGOT
摘要
申请公布号 JPS594030(A) 申请公布日期 1984.01.10
申请号 JP19830107619 申请日期 1983.06.15
申请人 GENERAL SIGNAL CORP 发明人 RICHIYAADO ERU REIN
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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