| 发明名称 |
AN ELECTRON BEAM ARRAY LITHOGRAPHY APPARATUS AND A METHOD OF OPERATING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0063429(A3) |
申请公布日期 |
1984.01.04 |
| 申请号 |
EP19820301670 |
申请日期 |
1982.03.30 |
| 申请人 |
CONTROL DATA CORPORATION |
发明人 |
HARTE, KENNETH JEREMY;SMITH, DONALD OSCAR |
| 分类号 |
H01L21/027;H01J37/304;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/30 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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