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发明名称 PRODUCTION OF VAPOR DEPOSITION SOURCE
摘要
申请公布号 JPS58213873(A) 申请公布日期 1983.12.12
申请号 JP19820098086 申请日期 1982.06.08
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 OGAWA MASAKI
分类号 B01J19/00;C23C14/24 主分类号 B01J19/00
代理机构 代理人
主权项
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