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发明名称 DEVICE FOR LOADING AND TRANSFERRING WORKPIECE
摘要
申请公布号 JPS58211879(A) 申请公布日期 1983.12.09
申请号 JP19830088355 申请日期 1983.05.19
申请人 AIRCO INC 发明人 RICHIYAADO II KOOBUIRU
分类号 B65G49/00;B01J3/02;B65G25/02;B65G49/07;C23C14/56;H01L21/677 主分类号 B65G49/00
代理机构 代理人
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