发明名称 METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0163546(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19950051496 申请日期 1995.12.18
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHOE, KIL-HYUN;PARK, JI-SOON;LEE, JANG-EUN;KIM, BYUNG-JUN
分类号 H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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