Opto-electrical measuring-device.

摘要

Bei einer lichtelektrischen Meßeinrichtung zur Bestimmung von Lageabweichungen eines Objekts ist ein beleuchteter Spalt (2) und ein Objektiv (8) zur Erzeugung eines Lichtbündels zur Abtastung des zu messenden Objekts und zur Abbildung des am Objekt reflektierten Lichtbündels auf den beleuchteten Spalt (2) vorgesehen. Der Spalt (2) ist mit einer Meßteilung (4) fest verbunden, die von einer Abtasteinheit (5, 12, 13) zur Messung der Verschiebung des Spaltes (2) abgetastet wird.