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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5849022(B2) 申请公布日期 1983.11.01
申请号 JP19750112741 申请日期 1975.09.19
申请人 TOKAI KAABON KK 发明人 AKYAMA MASARU
分类号 H01L21/205;H01L21/02;H01L21/22;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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