| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING AND TESTING A CORROSION-RESISTANT CHANNEL IN A SILICON DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1565932(B1) |
申请公布日期 |
2008.02.06 |
| 申请号 |
EP20030786769 |
申请日期 |
2003.11.17 |
| 申请人 |
SMC KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
HARRIS, JAMES, M.;PATEL, SAPNA |
| 分类号 |
H01L21/00;B81B7/00;B81C99/00;F16K99/00;H01L21/02;H01L21/44;H01L21/66;H01L23/544 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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