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发明名称
PROCESS FOR PRODUCING SUPERFICIAL PILING-UP DEFECTS IN SEMICONDUCTOR WAFERS
摘要
申请公布号
DE3064917(D1)
申请公布日期
1983.10.27
申请号
DE19803064917
申请日期
1980.07.03
申请人
WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUR ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH
发明人
LAMPERT, INGOLF;WAHLICH, REINHOLD
分类号
H01L21/304;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/30;H01L21/32
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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