发明名称 METHOD OF FORMING POLYSILICON RESISTOR
摘要
申请公布号 JPS58182259(A) 申请公布日期 1983.10.25
申请号 JP19830051713 申请日期 1983.03.29
申请人 INTERN BUSINESS MACHINES CORP 发明人 RAINHAADO GURANGU;SANNMEI KU;ARUFURETSUDO SHIYUMITSUTO
分类号 H01L29/73;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/3215;H01L21/331;H01L21/822;H01L21/8222;H01L27/01;H01L27/04 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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