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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5847874(B2)
申请公布日期
1983.10.25
申请号
JP19760018436
申请日期
1976.02.24
申请人
SONY CORP
发明人
SUGAMA MITSUO
分类号
H01J9/233;H01J31/38;H01L31/10
主分类号
H01J9/233
代理机构
代理人
主权项
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