| 摘要 |
자가-정렬된 주입과 캡을 사용하여 태양 전지 이미터 영역을 제조하는 방법, 및 생성된 태양 전지가 기술된다. 일례에서, 태양 전지의 이미터 영역의 제조 방법은 기판 위에 규소 층을 형성하는 단계를 포함한다. 이 방법은 또한 규소 층의 주입 영역들과 함께 인접한 비-주입 영역들을 형성하도록, 규소 층 내에 도펀트 불순물 원자들을 스텐실 마스크를 통해 주입하는 단계를 포함한다. 이 방법은 또한 스텐실 마스크를 통해, 규소 층의 주입 영역들 상에서 이들과 실질적으로 정렬되게 캡핑 층을 형성하는 단계를 포함한다. 이 방법은 또한 규소 층의 비-주입 영역들을 제거하는 단계를 포함하며, 여기서 제거하는 동안에 캡핑 층은 규소 층의 주입 영역들을 보호한다. 이 방법은 또한 규소 층의 주입 영역들을 어닐링하여, 도핑된 다결정 규소 이미터 영역을 형성하는 단계를 포함한다. |
