ELECTROSTATIC LENS STRUCTURE

摘要

정전기 렌즈는 제 1 개구를 구비한 제 1 전도성 플레이트, 제 2 개구를 구비한 제 2 전도성 플레이트 - 상기 제 2 개구는 제 1 개구와 실질적으로 정렬됨 -, 제 1 전도성 플레이트에 제 1 전압 및 제 2 전도성 플레이트에 제 2 전압을 공급하기 위한 전압 서플라이 - 상기 제 1 전압은 제 2 전압보다 더 낮음 - , 및 제 2 전도성 플레이트로부터 제 1 전도성 플레이트를 분리하기 위한 절연 구조물을 포함한다. 상기 절연 구조물은 제 1 전도성 플레이트와 접촉하는 제 1 부분 및 제 2 전도성 플레이트와 접촉하는 제 2 부분을 포함하고, 상기 제 1 부분은 돌출 부분을 가지고 상기 제 2 부분은 절연 구조물의 에지에 만입 부분을 가져서, 상기 돌출 부분과 상기 제 2 전도성 플레이트 사이에 갭이 형성된다.