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摘要
申请公布号
JPS5845190(B2)
申请公布日期
1983.10.07
申请号
JP19750020359
申请日期
1975.02.20
申请人
FUJITSU LTD
发明人
BAN YASUTAKA
分类号
H01L21/76;H01L27/12
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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