大面积等离子体处理装置与均匀等离子体生成方法

摘要

一种防止异常放电的大面积等离子体处理装置，包括一超高频电源、一功率放大器、一匹配箱、一180°相位差功率分配器、一示波器、一真空容器、二平行平板电极及一可变电容器。该180°相位差功率分配器与该匹配箱电性连接，接收从该超高频电源传来的超高频电力，将超高频电力转换为180°相位差电位超高频电力。各该平行平板电极分别以一同轴电缆线与该180°相位差功率分配器电性连接，以接收180°相位差的超高频电力。藉由上述结构可节省不必要的异常放电耗损电费，更能获得高均匀度膜厚的大面积高质量功能性薄膜。本发明亦揭露一种均匀等离子体生成方法。

主权项

一种大面积等离子体处理装置，其特征在于，包括：一超高频电源，提供超高频电力；一功率放大器，与该超高频电源电性连接；一匹配箱，与该功率放大器电性连接，以调整阻抗匹配；一180°相位差功率分配器，与该匹配箱电性连接，并接收从该超高频电源传来，经过该功率放大器以及该匹配箱的超高频电力，并将超高频电力转换为正负180°相位差电位；一示波器，与该180°相位差功率分配器连结；一真空容器；二平行平板电极，设置于该真空容器内，且各该平行平板电极非接地重叠，呈绝缘悬浮，且互相平行，各该平行平板电极分别以一同轴电缆线与该180°相位差功率分配器电性连接，以接收正负180°相位差电位的超高频电力，其中各该同轴电缆线分别透过一双极真空电源接头导入该真空容器内；以及一可变电容器，以二同轴电缆线分别与各该平行平板电极尾端连接，并与各该平行平板电极形成串联，其中各该同轴电缆线分别透过一双极真空电源接头导入该真空容器内。