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发明名称
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申请公布号 JPS5843900(B2) 申请公布日期 1983.09.29
申请号 JP19750090289 申请日期 1975.07.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 OOTSUKI KEIZO;SHIMIZU TAKESHI;TABATA KATSUHIRO;HANEDA TOSHIO
分类号 H01L21/56;B29C43/00;B29C45/00;B29C45/02;B29C45/14;B29C45/26;H01L23/28 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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