| 发明名称 |
DOPING SHEET FOR DOPING SEMICONDUCTOR AND METHOD OF PRODUCING SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS58162036(A) |
申请公布日期 |
1983.09.26 |
| 申请号 |
JP19830033931 |
申请日期 |
1983.03.03 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
YUTSUTA BERUGARUTO;KURAUSU HAIKE;JIIKUFURIIDO SHIYUBUENKU;ROTAARU BUEEBAA |
| 分类号 |
H01L21/225;C30B31/02;H01L21/22 |
主分类号 |
H01L21/225 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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