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发明名称 WASHING OF TWIN-LEGGED TYPE ELECTRONIC PARTS AND FIXING SYSTEM OF DRYING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS58162040(A) 申请公布日期 1983.09.26
申请号 JP19820046122 申请日期 1982.03.23
申请人 IDEYA:KK 发明人 FUKUDA ETSUNORI
分类号 H01L23/50;H01L21/304;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L23/50
代理机构 代理人
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