| 发明名称 |
AUTOMATISCHE SCHARFSTELLVORRICHTUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3308191(A1) |
申请公布日期 |
1983.09.22 |
| 申请号 |
DE19833308191 |
申请日期 |
1983.03.08 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA DENKI K.K. |
发明人 |
WATANABE,TOMOHIDE |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/956;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/66;(IPC1-7):G02B7/11;H01L21/68;H01J37/30;G11B7/08 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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