| 发明名称 |
BEAM SCANNING METHOD AND APPARATUS FOR ION IMPLANTATION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB2116357(A) |
申请公布日期 |
1983.09.21 |
| 申请号 |
GB19830002590 |
申请日期 |
1983.01.31 |
| 申请人 |
* VARIAN ASSOCIATES INC |
发明人 |
DAVID ARTHUR * ROBERTSON;NORMAN LEONARD * TURNER |
| 分类号 |
H01J37/302;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/31;H01L21/42 |
主分类号 |
H01J37/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
