| 发明名称 |
METHODE EN INRICHTING VOOR HET AANBRENGEN VAN EEN COATING OP EEN SUBSTRAAT OF TAPE. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL8200753(A) |
申请公布日期 |
1983.09.16 |
| 申请号 |
NL19820000753 |
申请日期 |
1982.02.24 |
| 申请人 |
INTEGRATED AUTOMATION INC. TE YONKERS, NEW YORK, VER. ST. V. AM. |
发明人 |
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| 分类号 |
B05C5/02;B05D1/26;H01L21/677;(IPC1-7):B05D1/26;H01L21/31;H01L21/46;H01L21/94 |
主分类号 |
B05C5/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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