发明名称 APPAREIL DE MISE AU POINT AUTOMATIQUE
摘要 <P>L'INVENTION CONCERNE UN APPAREIL DE MISE AU POINT AUTOMATIQUE.</P><P>IL COMPREND UN OBJECTIF 2 PLACE EN REGARD D'UN SUBSTRAT 1 PORTANT DES MOTIFS P1 A P4, UN PREMIER CAPTEUR 5 DISPOSE EN UN PREMIER POINT FOCAL DE L'OBJECTIF, UN DEUXIEME ET UN TROISIEME CAPTEUR 6, 7 QUI SONT RESPECTIVEMENT DISPOSES PLUS PRES ET PLUS LOIN DE L'OBJECTIF D'UNE MEME DISTANCE DONNEE PAR RAPPORT A UN DEUXIEME ET UN TROISIEME POINT FOCAL DE L'OBJECTIF, TROIS CIRCUITS DIFFERENTIELS 11 A 13 QUI DIFFERENCIENT LES SIGNAUX DE SORTIE DES TROIS CAPTEURS 5 A 7, UN CIRCUIT DETECTEUR 14 QUI DETECTE L'ECART DU SUBSTRAT PAR RAPPORT A UNE DISTANCE VOULUE PREDETERMINEE ENTRE L'OBJECTIF ET LE SUBSTRAT A PARTIR DES SIGNAUX DE SORTIE DES TROIS CIRCUITS DIFFERENTIELS, ET UN DISPOSITIF DE CORRECTION 16 QUI COMPENSE L'ECART A PARTIR DU SIGNAL DE SORTIE DU CIRCUIT DETECTEUR.</P><P>L'INVENTION S'APPLIQUE AU CONTROLE DES CIRCUITS INTEGRES.</P>
申请公布号 FR2523319(A1) 申请公布日期 1983.09.16
申请号 FR19830003783 申请日期 1983.03.08
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人 TOMOHIDE WATANABE
分类号 G01N21/88;G01N21/956;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/66;(IPC1-7):G02B15/00 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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