发明名称 LATERAL EPITAXIAL GROWTH BY SEEDED SOLIDIFICATION.
摘要 Procede et dispositif ameliores pour la cristallisation d'un materiau amorphe ou polycristallin. Selon la presente invention, un materiau devant etre cristallise est forme sur le substrat (10) et un materiau de germes cristallins simples (18) est dispose en contact et/ou a proximite d'au moins une partie du materiau a cristalliser. Une couche de materiau (20) servant d'"agent de mouillage" est ensuite formee sur le materiau (18) a cristalliser. La structure ainsi formee est soumise a un traitement thermique qui fait fondre le materiau (18) cristallise et lorsque ce materiau durcit sa structure cristalline est sensiblement epitaxiale et basee sur le materiau de germe. La couche d' "agent de mouillage" (20) sert a empecher une agglomeration nocive du materiau pendant la cristallisation.
申请公布号 EP0087426(A1) 申请公布日期 1983.09.07
申请号 EP19820901665 申请日期 1982.04.14
申请人 MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY 发明人 TSAUR, BOR-YEU;FAN, JOHN C. C.;GEIS, MICHAEL W.
分类号 C30B13/00;C30B13/06;C30B27/00;H01L21/20;H01L21/208;H01L21/324 主分类号 C30B13/00
代理机构 代理人
主权项
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