SELECTIVE ETCHING METHOD IN HIGH FREQUENCY PLASMA

摘要

Inventia se refera la o metoda de determinare a structurii supramoleculare a foliilor de polimeri prin tehnica corodarii selective în plasma de înalta frecventa. puterea generatorului de înalta frecventa utilizat este de 300W când energia medie a electronilor atinge valoarea medie de 5 eV, la o presiune de lucru de 10 la -2 mmHg. Drept mediu de plasma se foloseste azotul sau aerul. Timpul afectat interactiunii folie-plasma este de maxim o ora dupa care probele sunt studiate prin microscopie electronica. Metoda este rapida, iar corodarea este selectiva obtinându-se o buna diferentiere a zonelor cristaline de cele amorfe.