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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURING MICROFICHE MASKS
摘要
申请公布号 EP0077888(A3) 申请公布日期 1983.08.24
申请号 EP19820107082 申请日期 1982.08.05
申请人 DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH 发明人 MICHEL, DIETER, ING. GRAD.
分类号 G03B27/32;G03B27/34;G03B27/47;G03F1/00;G03F1/02;G03F9/00;G03F9/02;(IPC1-7):G03B27/32 主分类号 G03B27/32
代理机构 代理人
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