| 摘要 |
Bei einer Einrichtung zur Korrektur von Maschinenfehlern und/oder Teilungsfehlern bei Positionsmeßsystemen von Präzisionsmaschinen wird zur Messung der Relativlage zweier Objekte die Teilung eines Maßstabs, der mit dem einen Objekt verbunden ist, von einer Abtasteinheit abgetastet, die mit dem anderen Objekt verbunden ist. Neben der Teilung (31) des Maßstabs (30) sind Korrekturspuren (32, 33) vorgesehen, die von zusätzlichen Elementen (34, 35) der Abtasteinheit abgetastet werden, wobei die gewonnenen analogen Korrektursignale zur Korrektur von fehlerhaften Signal-parametern der von der Abtasteinheit gelieferten Analogsignale herangezogen werden.
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