发明名称 SOLUTION FOR ETCHING ANTIMONIDES OF ELEMENTS OF THE THIRD GROUP
摘要
申请公布号 SU1033585(A1) 申请公布日期 1983.08.07
申请号 SU19823421401 申请日期 1982.04.12
申请人 ANDREEV YURIJ S,SU 发明人 ANDREEV YURIJ S,SU
分类号 H01L21/306;C30B29/40;C30B33/00;(IPC1-7):C30B33/00 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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