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发明名称 LOW TEMPERATURE PLASMA CONTINUOUSLY TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS58132163(A) 申请公布日期 1983.08.06
申请号 JP19820010442 申请日期 1982.01.26
申请人 SANTO TEKKOSHO KK;UNITIKA KK 发明人 SANTOU YOSHIKAZU;GOTOU TOKUKI;TANAKA ITSUO;ISHIDOSHIRO HIROSHI;NAMIKATA MATSUO
分类号 D06M10/00;D06B19/00;D06M10/02 主分类号 D06M10/00
代理机构 代理人
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