发明名称 MANUFACTURE OF FIELD EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPS58130575(A) 申请公布日期 1983.08.04
申请号 JP19820011664 申请日期 1982.01.29
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 KAMIYANAGI KIICHI;TAKAHASHI SUSUMU;UMEMOTO YASUNARI;NAKAMURA MICHIHARU
分类号 H01L29/78;H01L21/033;H01L21/336;H01L21/338;H01L29/417;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址