发明名称 |
MANUFACTURE OF FIELD EFFECT TRANSISTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS58130575(A) |
申请公布日期 |
1983.08.04 |
申请号 |
JP19820011664 |
申请日期 |
1982.01.29 |
申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK |
发明人 |
KAMIYANAGI KIICHI;TAKAHASHI SUSUMU;UMEMOTO YASUNARI;NAKAMURA MICHIHARU |
分类号 |
H01L29/78;H01L21/033;H01L21/336;H01L21/338;H01L29/417;H01L29/80;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L29/78 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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