| 发明名称 |
SEALING METHOD OF DRIVING SECTION OF REACTION FURNACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS58128142(A) |
申请公布日期 |
1983.07.30 |
| 申请号 |
JP19820008907 |
申请日期 |
1982.01.25 |
| 申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK;HITACHI DENSHI ENGINEERING KK |
发明人 |
YOSHIDA AKIRA;MURAKAWA YUKIO |
| 分类号 |
B01J19/00;H01L21/02;H01L21/205 |
主分类号 |
B01J19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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