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发明名称 HALBLEITERSPEICHERVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE3300114(A1) 申请公布日期 1983.07.28
申请号 DE19833300114 申请日期 1983.01.04
申请人 HITACHI, LTD., TOKYO, JP 发明人 ISHIHARA, MASAMICHI, TOKYO, JP;TAZUNOKI, MASANORI, KOGANEI, TOKYO, JP;KAJIMOTO, TAKESHI, KODAIRA, TOKYO, JP
分类号 H01L21/02;H01L27/108;(IPC1-7):G11C7/00;G11C11/24;H01L27/00;H01L21/72 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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