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发明名称 산화막의 광화학적 저온 증착법
摘要 <p>내용 없음</p>
申请公布号 KR830004445(A) 申请公布日期 1983.07.13
申请号 KR19800004820 申请日期 1980.12.17
申请人 null, null 发明人 존 더블유. 피터즈
分类号 C01G1/02;C01B13/14;C01B13/20;C01B33/12;C01B35/12;C01F7/02;C23C16/40;C23C16/48;C30B25/00;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/225;H01L21/316;H01L21/473 主分类号 C01G1/02
代理机构 代理人
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