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发明名称 AMORPHOUS SILICONE NITRIDE HAVING HIGH HARDNES AND HIGH PURITY AND ITS PREPARATION
摘要
申请公布号 JPS58115011(A) 申请公布日期 1983.07.08
申请号 JP19820233123 申请日期 1982.12.27
申请人 TOUHOKU DAIGAKU KINZOKU ZAIRIYOU KENKIYUU SHIYOCHIYOU 发明人 HIRAI TOSHIO;NIIHARA KOUICHI
分类号 C23C16/34;C01B21/068 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
主权项
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