发明名称 Method of producing miniature semiconductor structures
摘要
申请公布号 US3212159(A) 申请公布日期 1965.10.19
申请号 US19600149798 申请日期 1960.08.22
申请人 LUDWIG GRASSL;KARL SIEBERTZ 发明人 GRASSL LUDWIG;SIEBERTZ KARL
分类号 H01L21/00;H01L23/488;H01L29/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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