发明名称 CIBLE D'APPAREIL A RAYONS X A REFROIDISSEMENT PAR EAU
摘要 <P>L'INVENTION CONCERNE LES SOURCES DE RAYONS X.</P><P>ON A DECOUVERT QUE LA DIFFUSION D'HYDROGENE DANS LA SURFACE EXTERIEURE, REFROIDIE PAR EAU, D'UNE ANODE EN PALLADIUM PUR 10 INCORPOREE DANS UNE SOURCE DE RAYONS X, PRODUIT DIVERS EFFETS NUISIBLES. POUR EVITER CES EFFETS, ON FORME UNE COUCHE BARRIERE POUR L'HYDROGENE 24, DE PROFONDEUR LIMITEE, QUI CONSISTE PAR EXEMPLE EN PDSN ET QUI S'ETEND A PARTIR DE LA SURFACE EXTERIEURE DE L'ANODE. LA SURFACE INTERIEURE OU SURFACE CIBLE ET LA MAJEURE PARTIE DE L'ANODE EN PALLADIUM NE SONT PRATIQUEMENT PAS AFFECTEES AU COURS DE LA FORMATION DE LA COUCHE BARRIERE. L'ANODE MODIFIEE DEMEURE EXEMPTE D'HYDROGENE PENDANT LE FONCTIONNEMENT ET PRESENTE DES CARACTERISTIQUES DE DUREE DE VIE PARTICULIEREMENT AVANTAGEUSES.</P><P>APPLICATION AUX SYSTEMES DE LITHOGRAPHIE PAR RAYONS X.</P>
申请公布号 FR2519188(A1) 申请公布日期 1983.07.01
申请号 FR19820021309 申请日期 1982.12.20
申请人 WESTERN ELECTRIC CY INC 发明人 MARTIN ELLINGSEN POULSEN, FREDERICK VRATNY ET ALFRED ZACHARIAS;VRATNY FREDERICK;ZACHARIAS ALFRED
分类号 H01J35/10;H01J35/08;H01J35/12;H01L21/027;(IPC1-7):H01J35/08;H01L21/26 主分类号 H01J35/10
代理机构 代理人
主权项
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