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发明名称 METHOD OF FORMING A PATTERN OF OPENINGS IN A LAYER OF A POSITIVE RESIST SYSTEM AND METHOD OF FORMING VIA HOLES
摘要
申请公布号 EP0069854(A3) 申请公布日期 1983.06.22
申请号 EP19820104711 申请日期 1982.05.28
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 COLACINO, JAMES JOSEPH;LEONE, RONALD A.
分类号 H01L21/30;G03F7/09;G03F7/30;G03F7/40;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/26 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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