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发明名称 A METHOD AND APPARATUS FOR ORIENTING A WAFER IN A DESIRED POSITION AT A WORK STATION
摘要
申请公布号 EP0020982(B1) 申请公布日期 1983.06.15
申请号 EP19800102578 申请日期 1980.05.09
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 SANTINI, HUGO ALBERTO EMILIO;WICK, DAVID PAUL
分类号 B65G49/07;B65G51/03;G03F9/00;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):01L21/68 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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