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发明名称 METHOD OF VACUUM DEPOSITION OF SEMICONDUCTOR LAYERS AND APPARATUS FOR EFFECTING THIS METHOD
摘要
申请公布号 AU529477(B2) 申请公布日期 1983.06.09
申请号 AU19790046504 申请日期 1979.04.30
申请人 KISHINEVSKY GOSUDARSTVENNY UNIVERSITET IMENI V.I. LENINA 发明人 LEV MOISEEVICH PANASJUK;VLADIMIR DMITRIEVICH PRILEPOV;SERGEI ANTONOVICH DANILJUK;LEONID GEORGIEVICH LYSKO;LJUBOV IVANOVNA BEKICHEVA;VIKTOR MIKHAILOVICH ISHIMOV;ANATOLY GEORGIEVICH BOIKO;SVETLANA IVANOVNA KOVTUNENKO;ALEXEI IVANOVICH ZJUBRIK;ANATOLY IVANOVICH ROTAR
分类号 C23C14/24;G03G5/082;H01L21/363;H01L31/032;H01L31/18;(IPC1-7):H01L21/36 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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