发明名称 METHOD OF PRODUCING MOS ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS5887855(A) 申请公布日期 1983.05.25
申请号 JP19810179877 申请日期 1981.11.11
申请人 TEKTRONIX INC 发明人 TADANORI YAMAGUCHI
分类号 H01L27/088;H01L21/8234;H01L27/06;H01L27/08;H01L29/78 主分类号 H01L27/088
代理机构 代理人
主权项
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