发明名称 NACELLE CHAUFFEE PAR RESISTANCE POUR VAPORISATION DE METAL
摘要 <P>L'INVENTION CONCERNE UNE NACELLE CHAUFFEE PAR RESISTANCE, DESTINEE A LA VAPORISATION DE METAL SOUS VIDE.</P><P>ELLE COMPORTE UN CREUSET 13 CHAUFFE PAR UNE PARTIE 11 DE LAQUELLE ELLE EST SEPAREE PAR UNE PARTIE 17. CETTE DERNIERE CONDUIT LA CHALEUR, MAIS NE CONDUIT PRATIQUEMENT PAS LE COURANT ELECTRIQUE.</P><P>DOMAINE D'APPLICATION: METALLISATION SOUS VIDE DE TRANCHES DE SILICIUM, ETC.</P>
申请公布号 FR2515691(A1) 申请公布日期 1983.05.06
申请号 FR19820015363 申请日期 1982.09.10
申请人 KENNECOTT CORP 发明人 DENNIS W. BARSHTER
分类号 C23C14/26;F27B14/10;F27D1/00;F27D5/00;H05B3/10;(IPC1-7):C23C13/12;C04B35/58 主分类号 C23C14/26
代理机构 代理人
主权项
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