| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM FESTLEGEN EINES BAULICHEN, IM GROESSENBEREICH UNTERHALB EINES MICROMETERS LIEGENDEN MERKMALS BEI HALBLEITERBAUELEMENTEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3239819(A1) |
申请公布日期 |
1983.05.05 |
| 申请号 |
DE19823239819 |
申请日期 |
1982.10.27 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC CO.,INC. |
发明人 |
MATITYAHU LEVIN,RAFAEL |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/033;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/302;H01L21/3065;H01L29/47;H01L29/872;(IPC1-7):H01L21/32;H01L21/30 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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