发明名称 SEMICONDUCTOR ABSOLUTE PRESSURE TRANSDUCER ASSEMBLY AND METHOD
摘要
申请公布号 AU528367(B2) 申请公布日期 1983.04.28
申请号 AU19790051006 申请日期 1979.09.20
申请人 HITACHI LTD. 发明人 KAZUJI YAMADA;SEIKO SUZUKI;MOTOHISA NISHIHARA;KANJI KAWAKAMI;HIDEO SATO;SHIGEYUKI KOBORI;RYOSAKU KANZAWA;MINORU TAKAHASHI;HITOSHI MINORIKAWA
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L23/08;H01L29/84;(IPC1-7):G01L1/18;G01L9/06;H01L41/10;H04R17/00 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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