发明名称 |
SEMICONDUCTOR ABSOLUTE PRESSURE TRANSDUCER ASSEMBLY AND METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
AU528367(B2) |
申请公布日期 |
1983.04.28 |
申请号 |
AU19790051006 |
申请日期 |
1979.09.20 |
申请人 |
HITACHI LTD. |
发明人 |
KAZUJI YAMADA;SEIKO SUZUKI;MOTOHISA NISHIHARA;KANJI KAWAKAMI;HIDEO SATO;SHIGEYUKI KOBORI;RYOSAKU KANZAWA;MINORU TAKAHASHI;HITOSHI MINORIKAWA |
分类号 |
G01L9/04;G01L9/00;H01L23/08;H01L29/84;(IPC1-7):G01L1/18;G01L9/06;H01L41/10;H04R17/00 |
主分类号 |
G01L9/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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