发明名称 Highly stabilized beam generator for charged particles.
摘要 Elektronenstrahlerzeugungssystem mit hoher Konstanz des Strahlstroms, das eine beheizte Kathode einer auf negativerem Potential als die Kathode liegenden Hilfselektrode und eine durchbohrte Anode aufweist. Weiterhin ist eine den Strahl umgebende und mit einem Meßwiderstand verbundene Blende auf der der Kathode abgewandten Seite der Hilfselektrode vorgesehen. Durch diese Blende wird ein Teil des durch die Steuerelektrode beeinflußten Strahlstroms ausgeblendet. Der Meßwiderstand wird als Istwert-Geber mit einem an eine Referenzspannung angeschlossenen Regler verbunden, dessen Ausgang über ein Stellglied im Sinne einer Konstanthaltung des durch die Blende gemessenen Strahlstroms das Potential der Steuerelektrode beeinflußt.
申请公布号 EP0077417(A1) 申请公布日期 1983.04.27
申请号 EP19810108624 申请日期 1981.10.21
申请人 DR.-ING. RUDOLF HELL GMBH 发明人 BEISSWENGER, SIEGFRIED;BOPPEL, WOLFGANG
分类号 H01J37/04;H01J37/06;H01J37/24;H01J37/248;(IPC1-7):H01J37/24 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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